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氩离子抛光 697 （Ilion II）
产品概述
技术规格
产品优势
产品应用
产品概述
氩离子抛光仪Ilion® II 是一款桌面型设备，用于制备截面样品，同时 利用宽束氩离子对样品进行平面抛光，以便样品在 SEM及其它设 备上进行检测分析。 Ilion II可对不同种类的材料进行抛光，包括复 合材料，以及具有不同的机械硬度、尺寸和物理特性的合金。
Ilion II 配有 WhisperLok®样品交换系统，可选配可控温液氮冷却台。
Ilion II 内置一个 10 英寸触摸屏，无论是新手还是专家级用户，都可提高了样品抛光过程的可控性及可重复性。数码变焦显微镜配合 Gatan DigitalMicrograph® 软件，可实现对样品抛光过程的实时监控 及彩色照片储存，以便在 SEM观察时对其进行检查和分析。
技术规格
| 项目 | 技术规格 |
| 离子源 | |
| 离子枪 | 两支带稀土磁体的 Penning 离子枪 |
| 抛光角度（°） | +10 至 -10（每支离子枪独立可调） |
| 离子束能量（kV） | 0.1 – 8.0 |
| 峰值离子电流密度（A/cm²） | 10 |
| 在硅上的抛光速率（µm/h） | 300（8.0 kV 下） |
| 光束直径 | 通过气体流量控制器或放电电压调节 |
| 光束调制 | 单重或双重，可调或不调制 |
| 样品台 | |
| 样品尺寸（mm） | 10 × 10 × 4 |
| 固定方式 | Ilion 专利刀片 |
| 旋转速度（rpm） | 0.5 – 6.0 |
| 观察系统 | 数字变焦显微镜 |
| 真空系统 | |
| 抽气配置 | 两级隔膜泵（前级）+ 80 L/s 涡轮拖曳泵 |
| 极限压力（torr） | 5 × 10-6 |
| 工作压力（torr） | 8 × 10-5 |
| 真空计 | 主腔：冷阴极式；后备泵：固态式 |
| 样品气锁 | WhisperLok；样品交换时间 < 1 分钟 |
| 用户界面 | 10 吋彩色触摸屏，可进行完整参数控制与配方操作 |
| 尺寸与电源 | |
| 外形尺寸（mm） | 575 × 495 × 615 |
| 装运重量（kg） | 45 |
| 功耗（W） | 工作 200；离子枪关闭 100 |
| 电源要求 | 通用 100/240 VAC，50/60 Hz |
| 氩气压力（psi） | 25 |
产品优势
利用样品交换室和液氮冷却载物台，为电子束敏感样品定制了快速工作流程
对抛光过程进行实时观察，期间使用了带数字成像功能的光学显微镜。可利用 Gatan 的 DigitalMicrograph® 软件存储和分析图像
10 英寸彩色触摸屏界面显示 Ilion® II 配方，确保操作中得到可重复的结果
极其适用制备阴极发光和 EBSD 等分析技术的无损表面，因为这些分析信号在样品的极表面产生
产品应用
• 低损伤表面处理：特别适用于阴极发光（CL）和电子背散射衍射（EBSD）等对表面质量敏感的分析技术
• 实时抛光监控：内置光学显微镜与数字成像系统，可搭配 Gatan 的 DigitalMicrograph® 软件进行图像存储和分析
• 快速处理敏感样品：真空加载舱与液氮冷台确保处理过程对光束敏感样品无损
• 精确可控的重复操作：10寸触控屏与配方系统实现一致性样品制备
• 典型样品应用：包括铜截面EBSD分析、CdTe太阳能电池晶界电活性研究、聚合物气凝胶处理、涂层颜料的CL成像等
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