SC-FS200 落地式钨灯丝扫描电子显微镜
产品概述
技术规格
产品优势
产品应用
产品概述
SC-FS200 是一款具有全尺寸性能的紧凑型扫描电子显微镜(SEM),特别适合对较大样品进行成像分析。其配备导航摄像头和腔体摄像头,在操作灵活性方面具备优势。特点包括:
电子源:钨灯丝
有效放大倍数:约 100,000×(范围 20×~300,000×)
分辨率:3.0 纳米
加速电压:1~30 kV
样品更换时间:60 秒内完成
电动五轴载物台:X, Y, Z, R, T 全方向移动
特色摄像头:导航摄像头与腔体摄像头支持更便捷观察
腔体容量:支持大样品装载
技术规格
| 项目 | 参数描述 |
| 尺寸(宽×长×高) | 680 × 780 × 1460 mm |
| 电子源 | 钨灯丝(Tungsten filament) |
| 分辨率 | 3.0 nm |
| 放大倍数范围 | 20× ~ 300,000× |
| 有效放大倍数 | ~100,000× |
| 枪管真空度 |
约为 10-6 torr |
| 加速电压范围 | 1 ~ 30 kV |
| 真空系统 | 旋转泵 + 涡轮分子泵(Rotary Pump + TMP) |
| 电动五轴载物台行程 | X,Y:50 mm;Z:45 mm;R:360°;T:-20° ~ 45° |
产品优势
60秒极速成像 采用“旋片泵+涡轮分子泵”高效真空系统,从装样到成像仅需不到 1 分钟,大幅提升检测通量。
可视化精准导航 标配导航摄像头与腔体摄像头,支持“点击即达”的样品定位,实时监控内部状态,操作零门槛,防碰撞更安全
全电动 5 轴操控 不仅支持 X/Y/Z 移动,更支持 360° 旋转与 -20°~45° 倾斜,全方位无死角观察,满足复杂样品的分析需求。
3.0nm 高分辨率 虽然机身紧凑,却拥有全尺寸电镜性能。100,000× 有效放大(最高 300k),配合 1~30kV 宽电压,清晰呈现纳米级细节
大样品仓设计 优化的腔体空间支持装载更大尺寸样品,减少切割破坏,直接进行无损分析。
产品应用
材料科学: 金属断口分析、纳米材料形貌、粉末/陶瓷颗粒度观察。
半导体/电子: PCB/PCBA 焊点检测、芯片封装缺陷分析、引线键合观察。
工业质控: 产品表面缺陷排查、异物分析、镀层质量监控。
生命科学: 生物组织表面结构、植物花粉/种子形态观察
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